半导体制造设备在洁净室环境中运行,对轴承的防尘、低发尘性提出了极高要求。MYH提供洁净工况专用轴承和直线运动产品,满足半导体行业的高标准要求。
半导体设备解决方案
MYH为半导体制造设备提供洁净工况专用产品:
- 洁净轴承:采用特殊润滑脂和密封设计,极低发尘量,满足Class 1洁净室要求
- 氟涂层轴承:耐腐蚀、耐化学品的特殊涂层轴承,适用于CMP和蚀刻设备
- 直线导轨:低发尘型直线导轨,用于晶圆传输系统和检测设备
- 滚珠丝杠:高定位精度的滚珠丝杠,用于光刻机和探针台
半导体制造设备在洁净室环境中运行,对轴承的防尘、低发尘性提出了极高要求。MYH提供洁净工况专用轴承和直线运动产品,满足半导体行业的高标准要求。
MYH为半导体制造设备提供洁净工况专用产品: